本千級潔凈車(chē)間采用"精密工業(yè)美學(xué)"設計語(yǔ)言,以ISO6級(≤352,000顆/m³)為核心標準??臻g規劃遵循單向流原則,頂部FFU覆蓋率≥25%,配合地排風(fēng)形成0.45m/s垂直層流。墻面采用電解鋼板+抗菌涂層,圓弧角處理杜絕積塵。關(guān)鍵創(chuàng )新包括:
動(dòng)態(tài)環(huán)境控制系統:實(shí)時(shí)調節溫濕度(21±0.5℃/40±3%)、振動(dòng)(≤1μm/s)及靜電(≤10V)
模塊化功能單元:劃分微米級加工區(黃光照明)、光學(xué)檢測區(黑箱設計)、物料緩存區(負壓隔離)
人機交互優(yōu)化:觸控式電子批記錄終端、AR設備維護指引投影
設計通過(guò)深灰金屬質(zhì)感與熒光綠安全標識的視覺(jué)對比,強化科技感與功能性平衡,滿(mǎn)足半導體/光學(xué)元件制造需求。